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A three-dimensional porous structure was fabricated by pattern transfer printing for applications of electrodes in gas sensors. To form replica patterns, solutions were mixed with acetone, toluene, heptane, and poly(methyl methacrylate). These replica patterns can also be formed on substrates such as polyimide, polydimethylsiloxane, and silicon. The wide range of line widths from 1 to 5 µm was derived from the surface grating patterns of master substrates. The cross-bar pattern with 40 layers showed a thickness of 600 nm. The area of platinum transferred patterns with different line widths was enhanced to 20 × 25 mm, which is applicable to various electrode patterns of gas sensors.
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K. W. Guarini / 2001 / Nanoscale patterning using self-assembled polymers for semiconductor applications / J. Vac. Sci. Technol. B 19(6):2784~2788
H. Jin / 2010 / Super-high-resolution transfer printing for full-color OLED display patterning / J. Soc. Inf. Disp. 18(2):141~145
F. Blais / 2004 / Review of 20 years of range sensor development / J. Electron. Imaging 13(1):231~240
H. Gong / 2006 / Nano-crystalline Cu-doped ZnO thin film gas sensor for CO / Sens. Actuators B 115(1):247~251
S. Gong / 2014 / A wearable and highly sensitive pressure sensor with ultrathin gold nanowires / Nat. Commun. 5:3132(1)~3132(8)
H. Jin / 2010 / Super-high-resolution transfer printing for full-color OLED display patterning / J. Soc. Inf. Disp. 18(2):141~145
F. Blais / 2004 / Review of 20 years of range sensor development / J. Electron. Imaging 13(1):231~240
H. Gong / 2006 / Nano-crystalline Cu-doped ZnO thin film gas sensor for CO / Sens. Actuators B 115(1):247~251
S. Gong / 2014 / A wearable and highly sensitive pressure sensor with ultrathin gold nanowires / Nat. Commun. 5:3132(1)~3132(8)
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