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저자정보
조이현 (광운대학교) 윤명수 (광운대학교) 손찬희 (광운대학교) 조태훈 (광운대학교) 김동해 (광운대학교) 서일원 (광운대학교) 노준형 (광운대학교) 전부일 (광운대학교) 김인태 (광운대학교) 최은하 (광운대학교) 조광섭 (광운대학교) 권기청 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제22권 제5호
발행연도
2013.9
수록면
238 - 244 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2013

새로운 대기압 플라즈마 제트를 이용한 태양전지용 고농도 선택적 도핑에 관한 연구
조이현 ,  윤명수 ,  손찬희 외 9명 Applied Science and Convergence Technology 2013.09 학술저널
새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 인(P) 페이스트 도핑에 관한 연구
조이현 ,  윤명수 ,  조태훈 외 6명 신·재생에너지 2013.06 학술저널
새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 인산 도핑 가능성에 관한 연구
조이현 ,  윤명수 ,  조태훈 외 1명 조명·전기설비학회논문지 2013.06 학술저널
새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 태양전지용 고농도 선택적 도핑에 관한 연구
조이현 ,  윤명수 ,  손찬희 외 10명 한국진공학회 학술발표회초록집 2013.02 학술대회자료
새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 도핑 가능성에 관한 연구
조이현 전자물리학과 2013.01 학위논문

2012

저온 대기압 플라즈마 방전 특성
조이현 ,  전부일 ,  손찬희 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.02 학술대회자료

초록· 키워드

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태양전지 제조공정에서 열처리로 레이저를 사용하는 도핑공정은 태양전지의 성능을 결정짓는 중요한 요소이다. 그러나 퍼니스를 이용하는 공정에서는 선택적으로 고농도(Heavy) 도핑영역을 형성하기가 어렵다. 레이저를 사용한 선택적 도핑의 경우 고가의 레이저 장비가 요구되어지며, 레이저 도핑 후 고온의 에너지로 인한 웨이퍼의 구조적 손상 문제가 발생된다. 본 연구는 저가이면서 코로나 방전 구조의 대기압 플라즈마 소스를 제작하였고, 이를 통한 선택적 도핑에 관한 연구를 하였다. 대기압 플라즈마 제트는 Ar 가스를 주입하여 수십 kHz 주파수를 인가하여 플라즈마를 발생시키는 구조로 제작하였다. P-type 웨이퍼(Cz)에 인(P)이 shallow 도핑 된(120 Ohm/square) PSG (Phosphorus Silicate Glass)가 제거되지 않은 웨이퍼를 사용하였다. 대기압 플라즈마 도핑 공정 처리시간은 15 s와 30 s이며, 플라즈마 전류는 40 mA와 70 mA로 처리하였다. 웨이퍼의 도핑 프로파일은 SIMS (Secondary Ion Mass Spectroscopy)측정을 통하여 분석하였으며, 도핑프로파일로 전기적 특성인 면저항(sheet resistance)을 파악하였다. 도펀트로 사용된 PSG에 대기압 플라즈마 제트로 도핑공정을 처리한 결과 전류와 플라즈마 처리시간이 증가됨에 따라 도핑깊이가 깊어지고, 면저항이 향상하였다. 대기압 플라즈마 도핑 후 웨이퍼의 표면구조 손상파악을 위한 SEM (Scanning Electron Microscopy) 측정결과 도핑 전과 후 웨이퍼의 표면구조는 차이가 없음을 확인하였으며, 대기압 플라즈마 도핑 폭도 전류와 플라즈마 처리시간이 증가됨에 따라 증가하였다.
#대기압 플라즈마 제트 #PSG (Phosphorus Silicate Glass) #도핑프로파일 #면저항 #Atmospheric pressure plasma jet #PSG (Phosphorus Silicate Glass) #Doping profile #Sheet resistance

목차

I. 서론
II. 실험
III. 실험결과 및 고찰
IV. 결론
References

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - M. Okanovic / 2009 / / European PV Solar Energy 24 : 21 ~ google schola 2. [단행본] - S. W. Jones / 2008 / Diffusion in Silicon / IC Knowledge LLC : 23 ~ 61 google schola 3. [단행본] - J. S. Lee / 2007 / Solar cell Engineering / Green : 22 ~ 229 google schola 4. [단행본] - B. S. Tjahjono / 2010 / Laser Doped Selective Emitter Solar Cells / UNSW : 91 ~ 230 google schola 5. [단행본] - J. I. Kim / 2009 / High Voltage Electric Discharge plasma and Application / Kyobobook : 50 ~ 150 google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001274656