새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 인(P) 페이스트 도핑에 관한 연구

조이현; 윤명수; 조태훈; 노준형; 전부일; 김인태; 최은하; 조광섭; 권기청

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자료유형: 학술저널

저자정보: 조이현 윤명수 조태훈 노준형 전부일 김인태 최은하 조광섭 권기청

저널정보: 한국신재생에너지학회 신·재생에너지 신재생에너지 제9권 제2호

발행연도: 2013.6

수록면: 23 - 29 (7page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (6)

2013

새로운 대기압 플라즈마 제트를 이용한 태양전지용 고농도 선택적 도핑에 관한 연구

조이현 , 윤명수 , 손찬희 외 9명 Applied Science and Convergence Technology 2013.09 학술저널

새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 인(P) 페이스트 도핑에 관한 연구

조이현 , 윤명수 , 조태훈 외 6명 신·재생에너지 2013.06 학술저널

새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 인산 도핑 가능성에 관한 연구

조이현 , 윤명수 , 조태훈 외 1명 조명·전기설비학회논문지 2013.06 학술저널

새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 태양전지용 고농도 선택적 도핑에 관한 연구

조이현 , 윤명수 , 손찬희 외 10명 한국진공학회 학술발표회초록집 2013.02 학술대회자료

새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 도핑 가능성에 관한 연구

조이현 전자물리학과 2013.01 학위논문

2012

저온 대기압 플라즈마 방전 특성

조이현 , 전부일 , 손찬희 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.02 학술대회자료

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Furnace and laser is currently the most important doping process. However furnace is typically difficult appling for selective emitters. Laser requires an expensive equipment and induces a structural damage due to high temperature using laser. This study has developed a new atmospheric pressure plasma source and research atmospheric pressure plasma doping. Atmospheric pressure plasma source injected Ar gas is applied a low frequency (a few 10 kHz) and discharged the plasma. We used P type silicon wafers of solar cell. We set the doping parameter that plasma treatment time was 6s and 30s, and the current of making the plasma is 70 mA and 120 mA. As result of experiment, prolonged plasma process time and highly plasma current occur deeper doping depth and improve sheet resistance. We investigated doping profile of phosphorus paste by SIMS (Secondary Ion Mass Spectroscopy) and obtained the sheet resistance using generally formula. Additionally, grasped the wafer surface image with SEM (Scanning Electron Microscopy) to investigate surface damage of doped wafer. Therefore we confirm the possibility making the selective emitter of solar cell applied atmospheric pressure plasma doping with phosphorus paste.

#대기압 플라즈마 도핑 #인 페이스트 도핑프로파일 #면저항 #선택적 에미터 #Atmospheric pressure plasma doping #Doping profile of phosphorus paste #Sheet resistance #Selective emitter

참고문헌 (5)

참고문헌 신청

Li, B / 2006 / Review of recent progress in solid-state dyesensitized solar cell / solar energy Materals and Solar cells 99:549~573

Lee, J. S / 2007 / Solar cell Engineering / pp :22~229

Harald Kerp / 2005 / 15th International Photovoltatic Solar Energy Conference / 15th International Photovoltatic Solar Energy Conference

D. Ruby / High efficiency silicon solar cells by RTP / Appl. Phys. Lett 65(16):2087~2199

Gangopadhyay, U / 1998 / Spin on diffusion for silicon solar cell fabrication / J. IETE 34(6):450