분자선에피택시에 의해 성장한 GaAs/AlGaAs 양자우물의 성장 멈춤 효과

김민수; 임재영

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 김민수 (인제대학교) 임재영 (인제대학교)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제5호

발행연도: 2010.9

수록면: 365 - 370 (6page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

분자선 에피택시 방법을 이용하여 GaAs 기판 위에 GaAs 및 AlGaAs 에피층을 성장하면서 성장 멈춤 효과를 연구하였다. 성장멈춤 시간에 따른 에피층 성장 과정은 반사 고에너지 전자회절로 측정하였다. 성장 멈춤 시간은 0, 15, 30, 60초로 하였다. 그리고 성장 멈춤 시간을 달리하여 GaAs/Al<SUB>0.3</SUB>Ga<SUB>0.7</SUB>As 다양자우물을 성장한 후 양자우물의 특성을 조사하였다. 반사 고에너지 전자회절의 강도 진동은 성장 멈춤 시간에 영향을 받고 있었다. 그리고 양자우물의 광특성도 성장 멈춤 시간에 의존하고 있었다. 성장 멈춤 시간이 30초일 때 우물과 장벽층 사이에 급준한 계면을 가지는 에피층을 얻을 수 있었다.

#성장 멈춤 #GaAs/AlGaAs #반사 고에너지 전자회절 #분자선에피택시 #포토루미네슨스 #Growth interruption #Reflection high energy electron diffraction #Molecular beam Epitaxy #Photoluminescence

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

1. [학술지(정기간행물)] - Z. L. Yuan / 1996 / / J. Appl. Phys. 79 : 1073 ~

2. [학술지(정기간행물)] - T. Kitada / 2007 / / J. Crystal Growth 172 : 301 ~ 302

3. [학술지(정기간행물)] - J. R. Dong / 2006 / / J. Crystal Growth 289 : 59 ~

4. [학술지(정기간행물)] - H. H. Tan / 2006 / / J. Crystal Growth 274 : 85 ~

5. [학술지(정기간행물)] - S. M. Kim / 1999 / Hall 소자용 InAs 박막성장 / 한국진공학회지 8 (4) : 445 ~ 449

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

김민수

소속기관 인제대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 8 이용수 514

임재영

소속기관 인제대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 133 이용수 3,228

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001272869

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (10)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

댓글(0)