스핀코팅 방법으로 제작된 ZnO 박막의 두께에 따른 구조적 및 광학적 특성

임광국; 김민수; 김군식; 최현영; 전수민; 조민영; 김형근; 이동율; 김진수; 김종수; 이주인; 임재영

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저자정보: 임광국 (인제대학교) 김민수 (인제대학교) 김군식 (인제대학교) 최현영 (인제대학교) 전수민 (인제대학교) 조민영 (인제대학교) 김형근 (인제대학교) 이동율 (삼성LED) 김진수 (전북대학교) 김종수 (영남대학교) 이주인 (한국표준과학연구원) 임재영 (인제대학교)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제4호

발행연도: 2010.7

수록면: 281 - 286 (6page)

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스핀코팅 방법으로 제작된 ZnO 박막의 두께에 따른 구조적 및 광학적 특성에 관한 연구를 수행하였다. ZnO 박막의 두께가 두꺼워짐에 따라 줄무늬 모양의 폭과 밀도가 증가하고, 두께가 450 ㎚ 일 때 줄무늬 모양은 사라지며 표면이 매끄러워졌다. ZnO 박막의 표면이 매끄러워졌을 때 orientation factor α<SUB>(002)</SUB>가 급격히 증가하였고, (002) 회절 피크의 FWHM (full width at half maximum)는 감소하였다. ZnO 박막의 NBE (near-band edge emission) 피크의 위치는 두께와 표면 형태의 영향을 거의 받지 않았으나, 매끄러운 표면을 갖는 ZnO 박막의 DLE (deep level emission) 피크의 위치는 청색편이 하였다. ZnO 박막의 두께가 증가함에 따라 DLE 피크에 대한 NBE 피크의 발광세기 비율이 증가하는 경향을 보였고, NBE 피크의 FWHM은 감소하는 경향을 보였다.

#ZnO #스핀코팅 방법 #SEM #XRD #Photoluminescence #ZnO #Spin coating method

참고문헌 (27)

참고문헌 신청

1. [학술지(정기간행물)] - D. C. Kim / 2010 / / Cryst. Growth Des. 10 : 321 ~

2. [학술지(정기간행물)] - D. Basak / 2003 / / J. Crystal Growth 256 : 73 ~

3. [학술지(정기간행물)] - P. Nunes / 2002 / / Vacuum 64 : 293 ~

4. [학술지(정기간행물)] - D. K. Hwang / 2005 / / Appl. Phys. Lett. 86 : 222101 ~

5. [학술지(정기간행물)] - A. Mitra / 2001 / / Appl. Surf. Sci. 174 : 232 ~

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