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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박광묵 (경북대학교) 정지희 (미리넷솔라) 배소익 (미리넷솔라) 최시영 (경북대학교) 이명복 (대구테크노파크나노융합실용화센터)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제3호
발행연도
2011.5
수록면
225 - 232 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2013

RIE texturing을 이용한 고효율 다결정실리콘 태양전지의 제조 및 특성
박광묵 전자전기컴퓨터학부 2013.01 학위논문

2011

SF6/O2 가스를 이용한 다결정 실리콘 웨이퍼 RIE Texturing이 제작된 태양전지 동작특성에 미치는 영향
박광묵 ,  이명복 ,  정지희 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.08 학술대회자료
플라즈마기반 표면 Texturing 공정에 따른 다결정 실리콘 웨이퍼 표면물성과 태양전지 동작특성 연구
박광묵 ,  정지희 ,  배소익 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2011.05 학술저널

초록· 키워드

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다결정 실리콘 태양전지 표면의 광흡수율을 극대화시키기 위하여 플라즈마기반의 reactive ion etching (RIE) 공정을 적용하였으며 maskless 표면 texturing조건을 최적화하여 310∼1,100 ㎚ 파장대역의 평균 표면반사율을 4±1% 내외로 감소시킬 수 있는 grass-like 한 블랙실리콘을 제조할 수 있었다. Saw damage를 가진 15.6×15.6 ㎠ bare 웨이퍼에서부터 중요 공정단계별로 처리된 시료들의 평균반사율, 표면형상, 소수운반자 수명 등의 위치분포를 측정하여 최종 제작된 태양전지의 광전변환효율과 외부양자효율 등과 비교 검토하여 고효율 다결정 실리콘 태양전지 양산에 필요한 표면 texturing 조건들을 연구하였다. 평균 반사율을 4% 이하로 감소시키는 texturing 공정조건에서 웨이퍼 중앙에서 가장자리로 갈 수록 표면구조의 깊이 2배 반치폭 3배의 불균일성이 발생하였으며 이에 따라 입사광자의 다중반사확률이 높아져 평균반사율이 1% 정도 낮아지는 것으로 밝혀졌다. 비반사막이 코팅된 시료에서 측정된 소수운반자수명분포도 중앙에서 가장자리로 갈수록 약 40% 이상 더 긴 수명을 갖는 것으로 밝혀져 표면구조의 크기에 따른 사이즈효과가 발생하는 것으로 판단된다. 제조된 태양전지의 위치에 따른 광전변환효율도 낮은 반사율과 더 긴 소수운반자수명을 갖는 가장자리에서 2% 가량 높은 광전변환효율을 보였으며, 380∼1,100㎚ 파장대역의 외부양자효율 측정결과도 이를 뒷받침하고 있다. 균일한 에미터 층 형성 및 ARC 증착에 있어서 구조적으로 가장자리 부분의 구조가 유리한 것으로 예상되며, 동시에 표면 구조의 사이즈 효과 때문에 표면 재결합확률이 중앙보다 가장자리에서 더 감소되어 더 높은 광전변환효율을 보이는 것으로 해석된다.
#다결정 실리콘 태양전지 #Reactive ion etching #Texturing #표면결함 #소수운반자수명 #mc-Si solar cell #Saw damage #Minority carrier lifetime

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - S. Narayanan / 2002 / / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 74 : 107 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - A. Goetzberger / 2003 / / Mater. Sci. Eng. R 40 : 1 ~ google schola 3. [단행본] - 이재형 / 2005 / 태양전지 원론 / 홍릉과학출판사 : 281 ~ 365 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - J. S. Yoo / 2006 / / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 90 : 3085 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - H. F. W. Dekkers / 2000 / / Opto-electron. rev 8 : 311 ~ google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001273351