기체부하에 대한 크라이오 펌프의 성능 평가 방안

인상렬; 정승호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 인상렬 (한국원자력연구원) 정승호 (한국원자력연구원)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제3호

발행연도: 2010.5

수록면: 169 - 176 (8page)

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2010

기체부하에 대한 크라이오 펌프의 성능 평가 방안

인상렬 , 정승호 Applied Science and Convergence Technology 2010.05 학술저널

기체부하에 대한 크라이오 펌프의 성능 평가 방안

인상렬 , 정승호 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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크라이오 펌프는 크기에 비해 상대적으로 높은 배기속도를 나타내어 경제적이지만 흡착 패널의 온도에 민감하게 반응하는 배기성능 측면에서 볼 때 대유량 및 펄스 기체 부하에 대한 성능 유지 및 회복능력은 의문의 여지가 있다. 크라이오 펌프의 기체부하에 대한 공식적인 성능지표로는 최대배기량(max. throughput)과 교차(crossover)값이 있고 공식적인 것은 아니지만 펌프 회사에서 제공하는 사양에는 대부분 아르곤 회복시간(Ar recovery time)이라는 지표가 들어 있으며 사양서에 제시하지는 않지만 걸프(gulp) 시험도 통상 시행한다. 이들은 겉보기에 서로 다르지만 한편으로는 서로 중복되거나 연관성을 가지고 있다. 따라서 실용적인 면에서 절차들을 비교, 검토 및 개선하고 때에 따라서는 적절히 결합할 수 있는 방안에 대해 모색하려고 한다.

#크라이오 펌프 #기체 부하 #성능 시험 #교차값 #아르곤 회복시간 #Cryopump #Gas load #Performance test #Crossover #Ar recovery time

참고문헌 (6)

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1. [학술지(정기간행물)] - S. R. IN / 2003 / / J. Kor. Vac. Sci. Technol. 7 : 27 ~

2. [학술지(정기간행물)] - S. R. In / 2007 / Pumping Characteristics of the Prototype Cryosorption Panel for the KSTAR NBI System / Journal of the Korean Physical Society 51 (3) : 907 ~ 911

3. [기타자료] - / / Vacuum pumps acceptance specifications part 5 - Refrigerator cooled cryopumps, PNEUROP PN5ASRCC/5

4. [학술지(정기간행물)] - K. M. welch / 1999 / / J. Vac. Sci. Technol. A 17 : 3081 ~

5. [학술지(정기간행물)] - R. C. Longsworth / 1991 / / J. Vac. Sci. Technol. A 9 : 2766 ~

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