지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.3
- 수록면
- 45 - 54 (10page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (4)
2013
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
맥동관형 크라이오펌프 개발 사업 2단계를 맞아 우성진공(유)을 중심으로 상용화 시제품 개발이 성공적으로 끝나가고 있다. 최종 크라이오펌프 개발품은 흡기구 직경(내경) 16.5 (14) 인치에 질소 배기속도 3,600 L/s 이상을 목표로 하고 있다. 개발품의 성능확인을 위해 우선 몬테카를로 계산을 통해 배기속도를 예측하고 구조설계를 최적화했으며 이를 바탕으로 가공 조립된 크라이오펌프 시제품의 성능을 표준화된 장치에서 표준화된 절차를 통해 평가하여 설계 목표값과 비교했다. 시제품의 질소 배기속도는 4,600 L/s로 측정되어 설계값과 잘 일치하였으며 개발목표를 훨씬 상회하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 크라이오펌프 모델과 성능예측
Ⅲ. 성능평가 시험
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (7)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - K. M. Welch / 1999 / / J. Vac. Sci. Technol. A 17 : 3081 ~
2. [기타자료] - / 1989 / Vacuum pumps acceptance specifications part 5- Refrigerator cooled cryopumps / PNEUROP PN5A SRCC/5
3. [학술지(정기간행물)] - R. C. Longsworth / 1991 / / J. Vac. Sci. Technol. A 9 : 2766 ~
4. [단행본] - C. Hayashi / 1985 / Vacuum Tecnology (in Japanese) / Kyoritsu Shuppan : 25 ~
5. [학술지(정기간행물)] - 인상렬 / 2003 / 상용 크라이오펌프의 배기특성 분석 / 한국진공학회지 12 (2) : 86 ~ 92
2. [기타자료] - / 1989 / Vacuum pumps acceptance specifications part 5- Refrigerator cooled cryopumps / PNEUROP PN5A SRCC/5
3. [학술지(정기간행물)] - R. C. Longsworth / 1991 / / J. Vac. Sci. Technol. A 9 : 2766 ~
4. [단행본] - C. Hayashi / 1985 / Vacuum Tecnology (in Japanese) / Kyoritsu Shuppan : 25 ~
5. [학술지(정기간행물)] - 인상렬 / 2003 / 상용 크라이오펌프의 배기특성 분석 / 한국진공학회지 12 (2) : 86 ~ 92
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001274414