지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.9
- 수록면
- 225 - 230 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
크라이오펌프는 응축과 흡착을 통해 기체를 배기하므로 극저온 표면 온도와 증기압이 배기성능에 큰 영향을 미친다. 어느 부분의 온도가 어중간하면 한번 응축했던 기체분자가 방출과 재응축 또는 재흡착을 반복하여 진공용기 압력이 어느 선 이하로 떨어지지 않고 심한 요동을 나타낸다. 어떤 기체나 특정 온도 범위에서 이런 불안정성이 나타날 수 있지만 크라이오펌프를 많이 사용하는 스퍼터 장치의 공정기체인 알곤을 배기할 때 불안정성이 발생하는 것은 좋지 않다. 본 논문에서는 알곤 회복시간 측정실험을 수행하면서 크라이오펌프의 알곤 불안정성의 원인과 대책을 분석했다.
목차
I. 서론
II. 알곤 회복시간 측정과 알곤 불안정성
III. 알곤 회복시간 측정 결과
IV. 결론
References
참고문헌 (5)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 인상렬 / 2013 / 맥동관형 크라이오펌프 시제품 성능예측과 평가 / 한국진공학회지 22 (2) : 45 ~ 54
2. [단행본] - D. M. Hoffman / 1998 / Handbook of Vacuum Science and Technology / Academic Press : 168 ~
3. [단행본] - K. Welch / 2001 / Capture Pumping Technology / Elsevier : 311 ~
4. [기타자료] - M. J. Eacobacci / 1985 / Patent US4546613
5. [기타자료] - H. D. Kishorenath / 1995 / Patent US5386708
2. [단행본] - D. M. Hoffman / 1998 / Handbook of Vacuum Science and Technology / Academic Press : 168 ~
3. [단행본] - K. Welch / 2001 / Capture Pumping Technology / Elsevier : 311 ~
4. [기타자료] - M. J. Eacobacci / 1985 / Patent US4546613
5. [기타자료] - H. D. Kishorenath / 1995 / Patent US5386708
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001274676