ISO 규격에서 규정한 표준용기 기체도입 도관의 직경에 대한 고찰

인상렬

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자료유형: 학술저널

저자정보: 인상렬 (한국원자력연구원)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제3호

발행연도: 2010.5

수록면: 161 - 168 (8page)

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ISO 규격에서 규정한 표준용기 기체도입 도관의 직경에 대한 고찰

인상렬 Applied Science and Convergence Technology 2010.05 학술저널

ISO 규격에서 규정한 표준용기 기체도입 도관의 직경에 대한 고찰

인상렬 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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진공펌프의 배기성능 지표들을 정량적으로 측정하기 위해서 사용하는 표준용기에 관한 ISO 규격은 기체도입 도관의 굵기를 용기 내경의 10분의 1로 규정하고 있다. 표준용기 내경은 검사 대상 펌프의 흡기구 직경보다 작아서는 안 되므로 만일 대용량 펌프에 맞춘다면 때에 따라 도관의 굵기가 100 ㎜라는 수치도 나올 수 있다. 전체 시스템의 크기가 커지는 만큼 이런 굵기의 도관도 수용이 가능하기는 하지만 과연 이렇게 굵은 도관이 정밀한 측정을 위해 꼭 필요한지 또는 오히려 방해가 되는 것은 아닌지 검토해 볼 필요성이 있다. 본 논문에서는 도관 굵기에 따라, 도관출구를 빠져나오는 입자들과 오리피스 및 펌프 흡기구에 입사하는 입자들의 등방성에 대해 살펴봄으로써 적절한 도관 굵기가 존재하는지에 대해 논의한다.

#표준 용기 #기체 도입 #도관 굵기 #등방성 #평균 방향여현 #Standard dome #Gas introduction #Tube diameter #Isotropicity #Average directional cosine

참고문헌 (7)

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1. [기타자료] - / / Vacuum Technology-Standard Methods for Measuring Vacuum-pump Performance-General Description, ISO 21360 (2007)

2. [기타자료] - / / Vacuum Pumps Acceptance Specifications Part II(DP), PNEUROP 5607 (1972)

3. [기타자료] - / / Vacuum Pumps Acceptance Specifications Part III(TMP), PNEUROP 5608 (1973)

4. [기타자료] - / / 터보分子펌프性能試驗方法, JVIS 005 (1991)

5. [학술지(정기간행물)] - M. H. Hablanian / 1987 / / J. Vac. Sci. Technol. A 5 : 2552 ~

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