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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.5
- 수록면
- 213 - 220 (8page)
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Al이 도핑된 투명 전도성 Al:ZnO (AZO) 박막에 대한 RF magnetron sputtering증착 법을 이용한 저온 최적공정조건을 연구하였다. 투명전극 재료로써의 AZO박막의 전기적, 결정학적 물성을 최대한 향상시키기 위해서, in-situ상태에서 유리기판상에 최적화된 증착 조건의 AZO 버퍼 층을 삽입하는 이중박막 구조를 제작하였다. RF 인가 전력 50~60 W에서 증착된 버퍼층 위에 120 W의 RF 전력에서 성장한 AZO 박막의 경우, 비저항 3.9×10<SUP>-4</SUP> Ωcm, 전하 캐리어농도 1.22×10<SUP>21</SUP>/㎤, 홀 이동도 9.9 ㎠/Vs의 전기적 특성을 보였다. 이러한 결과는 버퍼 층이 없는 기존의 단일 구조와 비슷하나, 전기적 비저항 특성을 약 30% 정도 향상시킬 수 있었으며, 전기적 특성의 향상 원인을 Ar? 이온의 입사 에너지의 변화에 따른 버퍼 층의 압축응력과 결정화 정도와의 의존성으로 설명하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 실험 결과
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (20)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - D. G. Hwang / 2002 / / Bulletin of Korea Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 15 (6) : 35 ~
2. [학술지(정기간행물)] - T. Minami / 1985 / / J. Appl. Phys 24 : L781 ~
3. [학술지(정기간행물)] - Ch. Sujatha / 2002 / / Matter Sci. Engin 94 : 106 ~
4. [학술지(정기간행물)] - W. J. Jeong / 2001 / / Solar Energy Mater.Solar Cells 6538
5. [학술지(정기간행물)] - J. D. Lee / 1996 / / 전기전자재료학회논문지 9 (2) : 199 ~
2. [학술지(정기간행물)] - T. Minami / 1985 / / J. Appl. Phys 24 : L781 ~
3. [학술지(정기간행물)] - Ch. Sujatha / 2002 / / Matter Sci. Engin 94 : 106 ~
4. [학술지(정기간행물)] - W. J. Jeong / 2001 / / Solar Energy Mater.Solar Cells 6538
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