저진공 내 시료가열판과 시료의 열전달

박현재; 오수기; 신용현; 정광화

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박현재 오수기 신용현 정광화

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제4호

발행연도: 2008.7

수록면: 302 - 310 (9page)

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진공 챔버 내부에서 열접촉된 시료가열장치와 시료 사이의 열전달 현상을 고찰하였다. 열전달은 가스 유량과 기체 압력에 따른 대류현상, 시료와 접촉하는 기판가열장치의 표면 거칠기 및 접촉압력에 따른 전도현상, 기판가열장치의 표면 방사율에 따른 복사현상으로 나누어 푸리에 식과 슈테판-볼츠만 식을 이용하여 열흐름 값을 분석하였다. 실험은 시료가열장치의 온도를 100 - 500℃ 사이에서 일정하게 유지하면서 300 mTorr - 1 Torr 사이의 압력에 따른 시료의 온도를 측정하고, 푸리에 식과 슈테판-볼츠만 식을 이용하여 열흐름 값을 계산하였다. 열흐름 값의 산출에 사용된 푸리에 계수의 정확성을 확인하기 위해, 역으로 열흐름 값으로부터 온도차를 구하는 방법을 사용하였으며 0.33 % 오차 내에서 재현됨을 확인하였다.

#열전달 #진공 #푸리에 식 #온도 #heat transfer in low vacuum #Fourier's law #substrate temperature

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1. [학술지(정기간행물)] - Hyeok-Cheol Choi / 2007 / J. Kor. Vac / Soc 16 (433)

2. [학술지(정기간행물)] - J. S. Lee / 2008 / J. Kor. Vac / Soc 17 (23)

3. [단행본] - Siegel-Howell / 1971 / Thermal radiation heat tran / McGraw-Hill

4. [단행본] - N. V. Tsederberg / 1965 / Thermal conductivity of gases and liquids / M.I.T. Press

5. [기타자료] - 정서긴 / / 진공 과학 입문

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