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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제16권 제6호
발행연도
2007.11
수록면
458 - 462 (5page)

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타원편광분석법은 반도체 물질의 광 특성과 전이점 연구에 유용하게 쓰이는 기술이다. 측정된 유전율 함수로부터 전이점을 구하기 위해서 전통적으로 이차 미분 스펙트럼을 이용하여 분석하는데, 이 방법은 high frequency 의 잡음을 크게 증폭시키는 단점이 있다. 본 연구에서는 역 공간 푸리에 변환 (Fourier transform) 을 이용하여 low-, medium-, high-index 의 푸리에 계수로부터 baseline, 정보, high frequency 잡음을 분리하는 방법을 소개하고자 한다. 이 방법을 이용하여 광전자 소자에 폭넓게 사용되는 ZnCdSe 화합물 반도체의 E₁, E₁＋Δ₁ 전이점에 대한 연구를 하여 전통적인 이차 미분법과 비교해 보았다.
#Fourier 변환 #ZnCdSe #타원편광분석기(ellipsometry) #유전함수 #Fourier transform #dielectric function

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 이론
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (1)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - D. E. Aspnes / 1980 / Handbook on Semiconductors 2 : 109 ~ google schola

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