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김승 (경희대학교) 변준석 (경희대학교) 공태호 (경희대학교) 김영동 (경희대학교) D. E. Aspnes (North Carolina State University) 김혜정 (Academia Sinica) Y. C. Chang (Academia Sinica) 송진동 (한국과학기술연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집
발행연도
2009.2
수록면
155 - 155 (1page)

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