보조씨드층을 이용한 ZnO 압전박막의 우선배향성에 관한 연구

박인철; 김홍배

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박인철 김홍배

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제6호

발행연도: 2006.11

수록면: 619 - 623 (5page)

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FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator) 소자의 공진특성을 결정하는 가장 중요한 요소는 압전막의 압전성을 들 수 있다. FBAR 압전막으로 유력한 ZnO 압전박막은 (002)면 c-축 우선배향성(preferred orientation)의 정도에 따라서 압전성이 결정된다. 그러므로 ZnO 박막의 우선배향성에 관한 연구는 많은 연구자들의 관심사가 되어왔다. 본 논문에서는 ZnO 보조씨드층(helped seed layer)을 이용하여 ZnO 압전박막의 우선배향성에 대하여 조사하였으며, rocking curve의 표준편차(σ) 값이 1.15°인 주상형 결정립을 가진 c-축 ZnO 압전박막이 우수한 압전특성을 나타내는 것을 확인하였다.

#박막체적탄성파공진기 #산화아연 #보조씨드층 #우선배향성 #표준편차(σ) #FBAR #ZnO #Helped seed layer #Preferred orientation #Standard deviation

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박인철

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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Hong Bae Kim

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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