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논문 기본 정보

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한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제12권 제1호
발행연도
2003.3
수록면
7 - 15 (9page)

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스피닝 로터 게이지는 표준기관의 고진공 국제비교에 전달표준기로 사용되고 있으며, 고진공 국가표준기인 동적교정장치를 이용하여 스피닝 로터 게이지를 교정하였다. 교정 결과의 불확도를 국제표준화기구에서 권고한 A형 불확도, B형 불확도, 합성표준불확도, 확장불확도 등으로 구분하여 평가하는 방법을 제시하였다. 이 방법에 따라 평가한 스피닝 로터 게이지의 합성표준불확도는 1.8007×10^(-5) Pa~4.8422×10^(-5) Pa 이었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 고진공 국가표준기

3. 불확도 계산

4. 결론

참고문헌

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