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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제14권 제4호
발행연도
2005.12
수록면
252 - 257 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

탄소나노튜브를 이용한 고휘도 X-선원용 전자빔원 개발
김선규 ,  허성환 ,  조성오 Applied Science and Convergence Technology 2005.12 학술저널
탄소나노튜브를 이용한 고휘도 x선원용 전자빔원 개발
김선규 ,  조성오 한국진공학회 학술발표회초록집 2005.08 학술대회자료

초록· 키워드

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고휘도 마이크로빔 X-선원에 사용할 고휘도 전자빔원을 탄소나노튜브를 이용하여 설계, 제작하였다. 전자빔원은 탄소나노튜브 팁을 이용한 음극, 전자빔 인출용 그리드, 전자빔 가속용 양극으로 이루어진 삼극관 형태의 구조를 가진다. 설계된 휘도 값을 얻기 위하여 X-선 발생부에서의 전자빔 직경이 5 ㎛ 이하, 빔전류가 약 30 μA 이상이 요구된다. 이러한 요구조건을 만족시키기 위하여, EGUN Code를 이용하여 전자빔의 궤적 및 공간분포 등을 계산함으로써, 탄소나노튜브 팁 및 전자빔원의 구조 등을 최적화 하였다. 제작된 탄소나노튜브 팁은 직경 200 ㎛ 의 텅스텐 와이어를 전기화학적으로 에칭하여 그 끝을 뾰족하게 만든 뒤 텅스텐의 끝 부분에 탄소나노튜브를 화학기상법으로 증착하여 제작하였다. 제작된 탄소나노튜브를 이용하여 전자빔 인출실험을 수행하였다. 개발 중인 탄소나노튜브 팁을 이용한 고휘도 전자빔원의 설계 특성 및 기초 실험결과를 보고한다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 탄소나노튜브 팁 및 전자빔원 광학계 설계

3. 탄소나노튜브 팁 제작

4. 전자빔 인출실험

5. 요약 및 논의

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