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자료유형
학술저널
저자정보
S. S. Hong (Korea Research Institute of Standards and Science) Y. H. Shin (Korea Research Institute of Standards and Science) J. Y. Lim (Korea Research Institute of Standards and Science)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.23 No.3
발행연도
2014.5
수록면
103 - 112 (10page)

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The Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS) has three major vacuum systems: an ultrasonic interferometer manometer (UIM; Section II, Figs. 1 and 2) for a low vacuum, a static expansion system (SES; Section III, Figs. 3 and 4) for a medium vacuum, and an orifice-type dynamic expansion system (DES, Section IV, Figs. 5 and 6) for high and ultra-high vacuum systems. For each system, explicit measurement model equations with multiple variables are given. According to ISO standards, all of these system variable errors were used to calculate the expanded uncertainty (U). For each system, the expanded uncertainties (k = 1, confidence level = 95%) and relative expanded uncertainty (expanded uncertainty/generated pressure) levels are summarized in Table 4. Within the uncertainty limits, our bilateral and key comparisons [CCM.P-K4 (10 Pa to 1 kPa)] are extensive and in good agreement with those of other nations (Fig. 8 and Table 5).
#Vacuum standard #Ultrasonic interferometer manometer #Static expansion system #Orifice conductance #Dynamic expansion system #Uncertainty

목차

I. Introduction
II. Ultrasonic Interferometer Manometer(UIM) as a Low Vacuum Standard
III. The SES as a Medium Vacuum Standard
V. Summary of the Uncertainties of the KRISS Vacuum Standards
VI. Summaries of International Comparison Works
VII. Conclusion
References

참고문헌 (20)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - S. S. Hong / 1996 / / J. Kor. Vac. Soc 5 (3) : 181 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - P. L. M. Heydemann / 1977 / / J. Vac. Sci. Technol 14 (1) : 587 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - C. R. Tilford / 1977 / / Applied Optics 16 (7) : 1857 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - P. L. M. Heydemann / 1977 / / J. Vac. Sci. Technol 14 (1) : 599 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - S. S. Hong / 2001 / / J. Kor. Vac. Soc 10 (2) : 173 ~ google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001275042