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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제7권 제3호
발행연도
1998.8
수록면
248 - 254 (7page)

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PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 방법을 이용하여 비정질 고상 탄소 박막의 하나인 유사 다이아몬드(Diamond-Like-Carbon; DLC) 박막을 증착하였다. FT-IR Spectroscopy와 Raman Scattering 등을 통해 박막의 구조적 특정을 조사하였는데, 박막은 microcrystalline diamond domain과 graphitelike carbon domain들이 수소화된 sp³ 사면체 구조의 비정질 탄소에 의해 그물 구조로 연결되어진 것으로 보인다. 이러한 추정은 I-V 특성 조사의 결과와도 좋은 일치를 보이는데, 특히 I-V 조사에서는 전류의 갑작스러운 증가가 관측되어졌으며 이것은 graphitelike carbon domain 들간의 전자 tunneling 현상으로 이해되어진다. 그리고 대단히 얇은 탄소 박막에 대한 Raman 산란 조사에서는 증착 초기 상태에 β-SiC 층이 형성되어지는 것을 확인할 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 탄소 박막의 증착

3. 실험 결과의 DLC 박막의 특성

4. 결론

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