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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제2호
발행연도
1995.6
수록면
172 - 176 (5page)

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각기 다른 스퍼터링 기체 압력과 타켓-기판 사이 거리하에서 on-axis 스퍼터링 방법으로 MgO(100) 기판 위에 YBa₂CU₃O_(7-y) 초전도 박막을 제조하였다. 적정하게 높은 스퍼터링 기체 압력을 사용할 경우 on-axis 방법으로도 off-axis 방법으로 제조한 박막에 비해 전기적, 구조적으로 우수한 양질의 박막을 c축으로 성장시킬 수 있었다. 스퍼터링 기체 압력 증가에 의한 resputtering 감소 효과가 타켓과 기판 사이의 거리 증가에 의한 resputtering 감소 효과보다 성장되는 박막의 초전도성 향상에 더욱 효과적이였다. 박막의 성장 속도가 빠를 경우 MgO 위에 YBCO 박막이 c축보다는 α축으로 성장하려는 경향을 보였다. 스퍼터링 기체 압력과 타켓-기판 사이의 거리가 성장되는 박막에 미치는 영향에 대해 임계온도, 100 K와 300 K에서의 저항비, X선 회절분석 등을 통하여 고찰해 본다.

목차

Abstract

요약

1. Introduction

2. Experiments

3. Results and Discussion

4. Conclusion

Acknowledgements

References

참고문헌 (0)

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