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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1997.3
- 수록면
- 22 - 24 (3page)
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FeN thin films were deposited by RF-reactive diode sputtering to investigate magnetic characteristics variation due to substrate tilt during the film deposition, and their magnetic properties were measured by VSM, SEM and AFM. When the substrate tilt pivot edges were parallel to the applied field, the magnetic anisotropy was increased. When the substrate tilt pivot edges were perpendicular to the applied field, the easy magnetization ... 전체 초록 보기
목차
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental procedure
Ⅲ. Experimental results and discussion
Ⅳ. Conclusion
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References
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