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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제12권 제1호
발행연도
2003.3
수록면
1 - 6 (6page)

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50 kW급 출력의 전자빔을 발생시킬 수 있는 축선 방식 전자총 (axial electron beam gun)과 전원장치를 제작하였다. 전자총은 전자빔 발생장치와 전자빔 궤적제어장치로 이루어졌다. 전자빔 발생장치는 필라멘트와 음극 (cathode), 양극 (anode)으로 구성되었고 전자빔의 최대전류는 2 A, 가속전압은 평균 25 kV이다. 전자빔 궤적제어장치는 전자빔의 크기를 조절하는 초점 (focusing)코일과 전자빔의 방향을 조절하는 편향 (deflection)코일 및 주사 (scanning)코일로 구성되었다. 전자총과 별개로 진공용기 내부에 Helmholtz 코일을 설치하여 시료의 표면에 입사되는 전자빔의 입사각도를 최적화시켰다. 각 부분의 동작 특성을 측정한 결과와 제작된 전자총으로 고융점 원소인 지르코늄 (zirconium, Zr)과 가돌리늄 (gadolinium, Gd) 금속을 증발시킨 결과를 정리하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 전자총 및 전원장치

3. 전자빔 궤적제어장치

4. 금속증기 증발률 측정

5. 결론

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