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논문 기본 정보

자료유형
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저자정보
저널정보
한국현미경학회 한국현미경학회지 한국현미경학회지 제34권 제1호
발행연도
2004.1
수록면
51 - 59 (9page)

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주사전자현미경(SEM)에서 전자를 발생시키는 전자총 부분의 고압발생 장치를 설계 제작하고 그 안정성을 시험하였다. 고전압을 발생시키는 switching 주파수는 고압 트랜스의 1차 측 임피던스와 인덕턴스에 matching 되는 주파수에서 최적의 전압 안정도가 유지되었다. 1차 측의 고압트랜스의 turn 수가 적으면 인덕턴스가 낮으므로 최적적인 matched switching 주파수가 높은 쪽으로 올라간다. 최대 출력 전압은 -30 kV 이상 출력되었으나 안정도는 출력전압이 -5 kV에서 10 kV 범위에서 가장 좋게 나타났다. 23.8 kHz에서 출력파형의 흔들림 없었고 DC 고전압 출력 또한 최고의 안정도을 보였다. 이때 도출된 전압 안정도는 ±0.002 %였다.
#Cathode #Cockcroft-Walton circuit #Electron gun #High voltage generation #SEM #SMPS #switched mode power supply)

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참고문헌 (4)

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/ 1992 / Scanning electron microscopy and X-ray analysis : 21 ~ 67 google schola / 1997 / Handbook of charged particle optics : 363 ~ 402 google schola / 1999 / Switchmode power supply handbook : 64 ~ 107 google schola / 2001 / Power electronic systems theory and design : 471 ~ 484 google schola

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