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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제3권 제1호
발행연도
1994.3
수록면
39 - 44 (6page)

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질화붕소를 스프레이코팅한 흑연과 용융 알미늄간의 진공에서의 반응기구를 여러 가지 분석장치를 이용하여 조사하였다. 계면에 형성된 화합물층은 잘 정의된 형태를 보였으며, Al₄C₃와 Al_8B₄C_7의 혼합상이 흑연 바로 위에 형성되었고 그 위는 주로 AlN층으로 이루어져 있었다. 이러한 화합물의 생성과정과 반응기구를 자유에너지 관점에서 논의하였다. 이러한 방법으로 흑연 보우트를 제조하여 알미늄 증발에 이용하였을 경우, 매우 안정적인 증발 양상을 보였으며, 0.6 ㎛/min 이상의 매우 높은 증발율을 얻을 수 있음을 확인하였다. 또한 제조원가가 저렴하고 (TiB₂BN 보우트의 약 1/100), 전자빔 증발에 의해 형성된 피막과 비교하여 손색이 없는 피막을 얻을 수 있어 새로운 저항가열 증발원으로서의 이용 가능성을 확인하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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