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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2002.9
- 수록면
- 166 - 170 (5page)
이용수
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BaTiO₃(BTO)/SrTiO₃(STO) 산화물 인공 초격자가 MgO (100) 단결정 기판위에 Pulsed laser deposition(PLD)법으로 증착되었다. 다층구조에서 BTO/STO 층의 적층 주기는 BTO_(1 unit cell)/STO_(1 unit cell)에서 BTO_(125 unit cell)/STO_(125 unit cell) 두께로 변화시켰고 초격자 전체 두께는 100 ㎚으로 고정시켰다. X-ray 회절 결과는 다양한 주기의 BTO/STO 산화물 박막에서 초격자의 특성을 보였고 투과형 전자 현미경을 통해서 BTO와 STO의 두 층간의 계면에서 상호확산이 일어나지 않고 초격자가 잘 성장된 것을 확인하였다. 초격자의 유전율은 임계 두께 내에서 적층주기가 감소함에 따라 증가하였다. 이러한 초격자의 유전율은 낮은 주기 즉 BTO_(2 unit cell)/STO_(2 unit cell)주기에서 1230으로 높게 나왔으며 이러한 원인은 격자 변형(c/a ratio)에 기여된 것으로 분석되었다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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