펄스 레이저 증착법을 이용한 유기 박막의 제작

박상무; 이붕주

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박상무 이붕주

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제5호

발행연도: 2008.9

수록면: 455 - 460 (6page)

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최근까지 유기박막의 제조에 있어서 진공 증착 혹은 스핀코팅법의 대체방법으로 펄스 레이져 증착법 (PLD: Pulsed laser deposition)에 많은 관심이 되고 있는 실정이다. 본 논문에서는 유기발광소자(OLED)의 제작을 위해 Alq3(aluminato-tris-8-hydroxyquinolate)와 TPD의 유기물을 질소(N₂)분위기 상태에서 KrF (λ=278 ㎚) 엑시머 레이저를 이용한 PLD법으로 증착하였고, 증착공정변화에 따른 증착된 박막의 분자 및 광학적 특성의 효과를 PL과 FT-IR등을 이용하여 평가하였다.

#펄스레이저증착법(PLD) #Alq₃ #TPD #PLD(pulsed laser deposition)

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1. [기타자료] - S.-M. Park / 2007 / Current Applied Physics

2. [학술지(정기간행물)] - S.-M. Park / 2006 / Jpn. J. Appl / Phys 45

3. [학술지(정기간행물)] - J. –H. Lee / 2005 / Curr. Appl / Phys

4. [학술지(정기간행물)] - C. W. Tang / 1987 / Appl. Phys / Lett 51

5. [기타자료] - F. L. Wong / 2004 / Thin Solid Films

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박상무

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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이붕주

소속기관 남서울대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 4 이용수 69

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