메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제11권 제2호
발행연도
2002.6
수록면
103 - 107 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
고온 급속 열처리를 행한 LiNbO₃/Si(100) 구조를 가지고 여러 가지 게이트 전극을 증착하여 금속/강유전체/반도체 전계 효과 트랜지스터(MFSFET)를 제작하였으며, 비휘발성 메모리 응용 가능성을 평가하였다. Pt 전극을 사용하여 제작한 FET에서는 같은 “read” 전압 1.5 V에서, “on” 상태의 드레인 전류가 “off” 상태의 드레인 전류보다 1000배 이상 큼을 확인할 수 있었으며, 이는 제작한 MFSFET가 메모리 응용 가능성이 있음을 의미한다. 또한 분극 반전에 사용된 전압이 ±4 V로 낮으므로 저전력 소비용 집적회로에 적용 가능성이 있다고 할 수 있다. 드레인 전류의 시간 의존성, 즉 retention 측정 결과 Al 전극이나 poly-Si 전극의 경우에는 시간이 경과함에 따라 드레인 전류가 큰 폭으로 감소하는 경향을 확인할 수 있었고, Pt 전극의 경우에는 2일 동안 측정된 결과가 초기 값과 거의 일치하는 우수한 retention 특성이 확인되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 및 결과

3. 결론

감사의 글

참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001264527