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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제3(2)호
발행연도
1999.8
수록면
269 - 275 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1999

다양한 흡착자에 의한 Si(113)3×2 표면의 상변화 연구
김학수 ,  황찬국 ,  김용기 외 5명 Applied Science and Convergence Technology 1999.08 학술저널
다양한 흡착자에 의한 Si(113)3×2 표면의 상변화 연구
김학수 ,  황찬국 ,  김용기 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.02 학술대회자료

초록· 키워드

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전자회절법을 이용하여 K 및 다양한 흡착자에 의한 Si(113)3×2 표면의 상변화를 관찰하였으며 광전자분광법을 이용하여 산소 노출량에 따른 가전자대 빛 내각준위스펙트럼을 관찰하였다. 산소 흡착에 의해 가전자대의 표면상태가 내각준위에서 관찰되는 두 피크(S1, S2)와 동시에 사라지면서 3×1 주기성을 보였다. 특히 이러한 변화가 동종물질인 실리콘 증착에서도 관찰되었으며 후열처리에 의해 3×2 주기성으로 환원되는 것으로 미루어 Si(113)3×2 표면의 3×1으로의 초기 상전이가 실리콘표면의 흡착자에 의해서 형성된 것이 아니며 기판 자체의 재배열과 관련되어 있음을 확인하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 및 결과

3. 결론

감사의 글

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