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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제1호
발행연도
1999.2
수록면
9 - 12 (4page)

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Angle Resolved Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy(ARUPS)용 전자 에너지 분석기를 제작하고 그 성능을 조사하였다. 독립적인 각 분해와 에너지 분해를 위하여 3전극 전자 렌즈 2개를 연이어 붙인 동심 반구형으로 제작하였다. 이 분석기의 성능을 조사하기 위하여 Cu(100)의 전자 에너지 구조를 연구하였다. 이 분석기의 최고 에너지 분해능은 40 meV 이하이고 각 분해능은 0.2°임을 확인할 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 에너지 분석기 설계

3. 분석기 분해능 확인

4. 결론 및 개선점

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