초박막 Al₂O₃ 산화막의 제작 및 High Resolution Electron Energy Loss Spectroscopy에 의한 구조연구

이명복; 이정희; 이용현; 이종현

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저자정보: 이명복 이정희 이용현 이종현

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제16회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.2

수록면: 123 - 123 (1page)

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