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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제3호
발행연도
1996.9
수록면
188 - 193 (6page)

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새로운 형태의 2차원 평면 표시형 구변경분석기를 제조하여 그 특성을 평가하였다. 이 분석기는 고체 내에서 여기되어 방출된 전자의 에너지와 각도분포를 측정해서 해석하는데 사용하기 위한 것으로 궁극적으로는 비파괴적으로 단층적인 정보를 얻는 표면전자단층해석법 (Surface Electron Spectroscopic Tomography: SEN)를 개발하는 것을 목표로 하고 있다. 이 실험에 사용된 분석기는 H.Daimon 등이 개발한 것과 유사하나 외부에 미소 전자총을 사용한 점이 다르다. 그러나 미소전자총을 사용할 경우, 전자빔이 분석기에 인가된 전압에 의해 간섭을 받기 때문에 많은 문제점을 초래하게 된다. 본 연구에서는 이와 같은 경우에 발생된 제반 문제점과 이를 해결하기 위한 여러 가지 방안 그리고 조정된 분석기를 이용하여 실리콘 시편에서 얻은 Auger 스팩 트럼의 해석을 주로 기술하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험장치 및 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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