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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제2호
발행연도
1999.5
수록면
83 - 92 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

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하이브리드형 분자펌프를 구성하고 있는 원판형의 드래그펌프에 대하여 DSMC 수치해석을 이용한 성능해석을 수행하였다. 원판형위에 형성되어 있는 유로상의 기체유동은 3차원의 분자천이영역에 놓이게 된다. 상대적회전좌표계를 택하였기 때문에 분자 각각은 직선적이 아닌 곡선운동을 하게 된다. 따라서 본 연구에서는 코리올리스힘과 원심력을 포함한 미분방정식을 적분함으로써 분자 개개의 곡선궤적을 구하였다. 수 치해석시 분자충돌과정은 null-collision기법과 VSS(variable soft sphere)모델을 이용하여 계산하였으며, 이전의 선행연구와 비교한 결과 큰 차이를 보여주었다. 이것은 출구로 부터의 분자들의 역류에 의해 펌핑유로가 매우 제한되어지기 때문이며, 이러한 현상은 기존연구에서는 나타나지 않았다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 수치해석방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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