통계적 실험계획법을 이용한 SOG 평탄화 공정의 최적화

임채영; 박세근

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자료유형: 학술저널

저자정보: 임채영 박세근

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제1권 제1호

발행연도: 1992.2

수록면: 198 - 205 (8page)

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고집적 회로제작에 필수적인 평탄화 기술을 SOG를 이용하여 개발하였다. 1.5 micron double metal 기술의 공정변수들을 통계적 실험계획법을 적용하여 주요변수들을 찾아내고 그들을 최적화하였다. 최적공정 조건은 SOG 도포 횟수는 2회, hot plate bake는 300℃에서 충분히, 그리고 furnace curing은 400℃ 이하에서 40분간 진행하는 것이었다.

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소속기관 한국진공학회(ASCT)

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