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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제21회 학술발표회초록집
발행연도
2001.7
수록면
132 - 132 (1page)

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2001

CO₂ gas cluster 이온빔을 이용한 ITO / glass 평탄화
송재훈 ,  윤덕주 ,  오희범 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.07 학술대회자료
CO₂ gas cluster 이온빔 특성 조사
송재훈 ,  최덕균 ,  최원국 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.07 학술대회자료
150 keV CO₂ gas cluster 이온빔 소스의 특성 조사
송재훈 ,  권순남 ,  황정남 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.02 학술대회자료

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