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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국진공학회(ASCT) Journal of Korean Vacuum Science & Technology Journal of Korean Vacuum Science & Technology Vol.2 No.1
- 발행연도
- 1998.4
- 수록면
- 43 - 48 (6page)
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The effect of microstructure on the electrical properties of yttria stabilized zirconia (YSZ) was analyzed by modeling layer arrangements and mixed phase structures. The YSZ thin films were deposited by RF magnetron sputtering using 3 mol% YSZ and 8 mol% YSZ targets with yttrium pellets on porous alumina substrates. The structure, composition and electrical properties of the YSZ films were investigated as functions of sputtering conditions and layer arrangements by XRD, TEM, XPS and ac impedance spectroscopy. The results showed that the triple layered YSZ films had higher microhardness, lower compressive stress state and higher ionic conductivity by one order than single and double layered YSZ films. However, sputtered YSZ films have low conductivity compared to YSZ pellets or doctor bladed YSZ thin plates. These results were probably due to the influence of insulating alumina substrates, impractical for most stacking geometries and inductance induced by relatively long platinum lead wire on YSZ conductivity.
목차
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental
Ⅲ. Results and discussion
Ⅳ. Conclusion
Acknowledgements
References
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