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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제4(2)호
발행연도
1999.12
수록면
507 - 513 (7page)

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본 실험에서는 산소 이온 전도체로서 Smol%-YSZ 고체전해질을 RF-magnetron bias sputtering 법을 이용하여 증착하였으며 YSZ 박막을 이용한 산소감응 센서 셀 구조는 SiO₂기판상/Ni-NiO/Pt/YSZ/Pt 다층 박막 구조로 제조하였다. 센서 셀의 정상상태에서의 기전력(electromotive force; EMF)은 산소분압(Po₂ : 1.013×10³ Pa ~ 1.013×10^5 Pa)과 측정온도(300~700℃)를 변화시켜가며 측정하였다. 제작된 셀의 산소 감응 실험결과 500℃에서 가장 우수한 감응특성을 나타내었으나 300℃ 이하에서는 산소 이온 이동의 어려움으로, 700℃ 이상에서는 박막중간의 상호 확산으로 감응특성이 저조하였다. 특히 본 실험에서 제조된 YSZ 산소센서는 500℃ 및 산소분압 1.565×10⁴ Pa 이상의 비교적 높은 산소 분압에서 Nemst equation에 근접한 산소 감응 특성을 나타내었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 토의

4. 결론

참고문헌

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