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논문 기본 정보

자료유형
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저자정보
저널정보
한국기계기술학회 한국기계기술학회지 한국기계기술학회지 제21권 제6호
발행연도
2019.1
수록면
1,083 - 1,089 (7page)

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As the solar power generation system expands, researches on the development and production technology of solar modules are being actively conducted. In addition, in the production of polysilicon for solar modules, a high-purity carbon electrode is essential, which greatly affects the performance and productivity of the solar module. This research is about the development of a carbon electrode used to manufacture high-purity polysilicon rod, which is essential for the manufacture of the photovoltaic modules. Fine graphite chuck is used as a carbon electrode. Generally, it is a consumable material that is used once and discarded. Therefore, this study aimed to develop an assembly-type high purity graphite chuck that can recycle some resources to dramatically improve the utilization of resources. In order to maintain the purity and performance of polysilicon, the composition and performance of the graphite chuck are important. The fine graphite chuck is manufactured through the high-purification process after precision machining, and the performance is confirmed through the component analysis of the specimen. At about 5,000 nm or more from the surface, the compositions of the sample appeared almost constant, and a high purity sample satisfying the target specification was obtained. In addition, it was confirmed that the cost reduction could be achieved by designing the graphite electrode as a separable type, and the results of this study can be applied to the design of the fine graphite chuck for the production of high purity polysilicon.

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참고문헌 (7)

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S. W. Kim / 2006 / Pyrolytic carbon formation in low pressure carburizing furnace / J. of the Korean Society for Heat Treatment 19(4):230~237 google schola 민닷응우엔 / 2017 / Synthesis of β-SiC Powder using a Recycled Graphite Block as a Source / 자원리싸이클링 26(1):16~21 Crossref 양호영 / 2013 / 기밀소재 Graphite의 고온마모 특성에 관한 연구 / 한국추진공학회지 17(3):15~20 dbpia 김연욱 / 2013 / 씰링 그라파이트의 고온 마모 거동에 관한 연구 / 한국추진공학회지 17(5):113~120 Crossref 김희영 / 2008 / 태양전지용 폴리실리콘 제조 / Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK) 46(1):37~49 dbpia

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