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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국현미경학회 한국현미경학회지 한국현미경학회지 제37권 제2호
발행연도
2007.1
수록면
111 - 121 (11page)

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Diffractogram 법을 이용하여 한국기초과학지원연구원에 설치된 초고전압 투과전자현미경(KBSI-HVEM)의 대물렌즈에 대한 구면수차 계수와 분해능을 측정하였다. 측정 정밀도 향상을 위해 획득한 diffractoram을 디지털 처리하였고 각 intensity 분포 그래프를 graphical curve fitting으로 정밀하게 분리하였다. 정밀 측정을 위한 실험적 고려 사항들을 고찰하였고 최적 실험 조건 도출을 위한 방안들을 본 실험을 통해 제안하였다. 실험적으로 측정된 대물렌즈의 구면수차 계수는 2.628 ± 0.04 mm 였으며 이 값은 제조사에서 대물렌즈 설계 시 제안한 Cs = 2.65 mm와 거의 일치하는 값이었다.
#구면수차 계수 #대물렌즈 #초고전압 투과전자현미경 #Cs #HVEM. #Spherical aberration coefficient #Cs #Objective lens #High voltage electron microscope #HVEM).

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/ / Digital Micrograph version 3.0 manufactured by Gatan. The demonstration program can be downloaded at www.gatan.com and provide full functions except for saving the data. google schola / / 에 따른 렌즈 제정수 의 수치계산 google schola Budinger TF / 1976. / Measurement of Focus and Spherical Aberration of an Electron Microscope Objective Lens 2 : 31 ~ 41 google schola Hall CE / 1949. / Method of Measuring Spherical Aberration of an Electron Microscope Objective. J Appl Phys. 20 : 631 ~ 632 google schola Hillier J / 1942. / The Observation of Crystalline Reflections in Electron Microscope Images. Phys. Rev. 61 : 722 ~ 723 google schola

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