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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제15권 제2호
발행연도
2002.1
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Carbon nitride thin films were deposited by reactive sputtering for the hard coating materials on Si wafer and tool steels. When the nitrogen content of carbon nitride film on tool steel is 33.4 at%, the mean hardness and elastic modulus are 49.34 GPa and 307.2 GPa respectively. The nitrided or carburised surface acts as the diffusion barrier which shows better adhesion of carbon nitride thin film on the steel surface. To prevent nitrogen diffusion from the film, the steel substrate can be saturated by nitrogen forming a Fe3N layer. The desirable structure at the surface after carburising is martensite, but sometimes due to high carbon content an proeutectoid Fe3C structure may form at the grain boundaries, leaving the overall surface brittle and may cause defects.
#Carbon nitride #Hard coating #Tool steel #Nitridation

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