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논문 기본 정보

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저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제4권 제4호
발행연도
2003.1
수록면
30 - 38 (9page)

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In this paper, the CF4 decomposition efficiency is investigated for three simulated plasma reactors that are needle plate reactor, metal particle reactor, and dielectric barrier reactor with hole (DBH). The CF4 decomposition efficiency by DBH is much better than that by needle plate reactor or metal particle reactor. When applied voltage is increased up to the critical voltage for spark formation in the all reactors, the CF4 decomposition efficiency is increased. The CF4 decomposition efficiency in needle plate reactor and metal particle reactor is about 12% and 22% respectively at applied voltage of 23 kV (consumption power: 110 W) and CF4 concentration of 500 ppm, however, the CF4 decomposition efficiency is more than 95% in case of DBH. DBH should be much better than two reactors investigated for CF4 decomposition.
#Needle plate reactor #NPR) #Metal particle reactor #MPR) #Dielectric barrier reactor with hole #DBH) #CF4 #Decomposition

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