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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제21권 제7호
발행연도
2008.1
수록면
585 - 593 (9page)

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In this work, we report several experimental data capable of evaluating the phase transformation characteristics of GeSbTe pseudobinary thin films comprehensively utilized as phase change materials. The phase transformation of the GeSbTe thin films was confirmed by XRD measurement from amorphous to hexagonal structure via fcc structure except for Ge8Sb₂Te11. In addition, X-ray photoelectron spectra analysis revealed to weaken Ge-Te bond for Ge₂Sb₂Te5 and to strengthen the bonds of all elements for Ge8Sb₂Te11 during the amorphous to crystalline transition. The values of optical energy gap (EOP) were around 0.71 and 0.50 eV and the slopes of absorption in extended region (B) were ~5.1×105 and ~10×105 cm-1V-1 for the amorphous and fcc-crystalline structures, respectively. Finally, the kinetics of amorphous-to-crystalline phase change on the GeSbTe films was characterized using a nano-pulse scanner with 658-nm laser diode (power; 1~17 mW, pulse duration; 10~460 ns).

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