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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제22권 제1호
발행연도
2009.1
수록면
81 - 85 (5page)

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We has been analysed optical properties of OLED(organic light emitting diode) and characteristics of ITO(Indium Tin Oxide) in terms of O₂ plasma treatment for manufacturing high efficiency OLED. RF power of O₂ plasma was changed 25, 50, 100, 200 W. O₂ gas flow, gas pressure and treatment time were fixed. Sheet resistance and surface roughness of ITO were measured by Hall-effect measurement system and AFM, respectively. The ranges of sheet resistance and surface roughness were 5.5～6.06 Ω and 2.438～3.506 nm changing of RF power, respectively. PM(Passive Matrix)OLED was fabricated with the structure of ITO(plasm treatment)/TPD(400 Å)/Alq3(600 Å)/LiF(5 Å)/Al(1200 Å). Turn-on voltage of PMOLED was 7 V and luminance was 7,371 cd/m² at the RF power of 25 W. O₂ plasma treatment of ITO surface was result in lowering the operating voltage and improving luminance of PMOLED.
#RF power #ITO #Surface treatment #Organic light emitting diode

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C. C. Wu / 1997 / Surface modification of indium tin oxide by plasma treatment / Appl. phys. 70 : 1348 ~ google schola H. Y. Yu / 2001 / Surface electronic structure of plasma-treated indium tin oxides / J. Appl. Phys. 78 : 2595 ~ google schola J. Kido / 2001 / 유기 EL재료 : 258 ~ google schola J. S. Kim / 1998 / Indium-tin oxide treatments for single and double-layer polymeric light emitting diodes / J. Appl. Phys. 84 (12) : 6659 ~ google schola S. Jung / 2003 / Surface treatment effects of indiumthinoxide in organic light emitting diodes / Optical Materials 21 : 235 ~ google schola

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