High Sensitivity Micro-fabricated Fluxgate Sensor with a Racetrack Shaped Magnetic Core

김소정; Won-Youl Choi

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김소정 Won-Youl Choi

저널정보: 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제6권 제3호

발행연도: 2005.1

수록면: 110 - 114 (5page)

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We present a micro fluxgate magnetic sensor having solenoid coils and racetrack shaped magnetic core, which was designed to decrease the operating power and magnetic flux leakage. Electroplated copper coils of 6 μm thickness and the core of 3 μm thickness were separated by benzocyclobutane (BCB) having a high insulation and good planarization characters. Permalloy (Ni0.8Fe0.2) as a magnetic core was also electroplated under 2000 gauss to induce the magnetic anisotropy. The core had the high DC effective permeability of ~1,300 and coercive field of ~0.1 Oe. The fabricated fluxgate sensor had the very small actual size of 3.0 ´ 1.7 mm2. The fluxgate sensor with a racetrack shaped core had the high sensitivity of ~350 V/T at excitation condition of 3 VP-P and 2 MHz square wave. When two fluxgates were perpendicularly aligned in terrestrial field, their two-axis output signals were very useful to commercialize an electronic azimuth compass for the portable navigation system.

#Magnetic #Fluxgate #Sensor #Micromachining

참고문헌 (11)

참고문헌 신청

/ 1979. / The fluxgate magnetometer 12 : 241 ~

/ 1990. / Fluxgate sensor in planar micro-technology 21 : 799 ~

/ 1992. / Review of fluxgate sensors 33 : 129 ~

/ 1995. / A miniaturized magnetic field sensor system con-sisting of a planar fluxgate sensor and a CMOS readout circuitry : 229 ~

/ 1996. / High-resolution micro fluxgate sensing elements using closely coupled coil structures 54 : 612 ~

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김소정

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논문수 9 이용수 35

Won-Youl Choi

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주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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