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논문 기본 정보

자료유형
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저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제12권 제2호
발행연도
2003.1
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본 논문은 마이크로 플럭스게이트 자기 센서 (micro fluxgate magnetic sensor)의 여자코일 선폭에 따른 자계 검출 특성 변화에 관한 것이다. 센서 제작을 위해 PCB 다층 적층기술을 사용하였으며, 연자성 코어를 둘러싼 여자코일 선폭을 각각 260 m와 520 m로 센서를 구현하였다. 센서는 모두 5층의 기판을 적층 하였으며, 가운데 (3번째)기판을 자성체 코어로, 자성체 코어 외부 (2번째와 4번째)기판을 여자코일로, 최외부 (1번째와 5번째)기판을 검출코일로 제작하였다. 연자성 코어로는 약 100,000의 큰 DC 투자율 (permeability)을 갖는 코발트 (Co)가 주성분인 아몰퍼스 재료를 사용하였으며, 자속 누설을 최소화하기 위해 사각 링 형태를 유지하였다. 솔레노이드 형태의 여자코일과 검출코일은 구리 재질로 제작되었다. 260 m 여자코일 선폭을 갖는 자기센서는 여자조건이 360 kHz, 3 Vp-p의 정현파일 경우에 780 V/T로 매우 우수한 감도를 보이고 있으며, -100 T ~ +100 T 영역에서 매우 우수한 선형특성을 보이고 있다. 자기 센서의 크기는 7.3 5.7 mm2이며, 소비전력은 약 8 mW이다. 이런 초소형 자기센서는 휴대용 네비게이션 시스템, telematics, VR 게임기 등 다양한 응용분야에 적용할 수 있다.
#micro #fluxgate #magnetic #sensor #pitch

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