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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제15권 제8호
발행연도
2002.1
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This paper presents a micro fluxgate sensor in printed circuit board (PCB). The fluxgate sensor consists of five PCB stack layers including one layer magnetic core and four layers of excitation and pick-up coils. The center layer as a magnetic core is made of a micro patterned amorphous magnetic ribbon and the core has a rectangular-ring shape. The amorphous magnetic core is easily saturated due to the low coercive field and closed magnetic path for the excitation field. Four outer layers as an excitation and pick-up coils have a planar solenoid structure. The chip size of the fabricated sensing element is 7.3×5.7mm2. Excellent linear response over the range of -100μT to +100μT is obtained with 540V/T sensitivity at excitation square wave of 3Vp-p and 360kHz. The very low power consumption of ~8mW was measured. This magnetic sensing element, which measures the lower fields than 50μT, is very useful for various applications such as: portable navigation systems, military research, medical research, and space research.
#micro #fluxgate #magnetic #sensor #PCB

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