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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제22권 제8호
발행연도
2009.1
수록면
641 - 644 (4page)

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We have studied on the microwave characteristics for the meander type inductors on the MgO substrates and Al2O3 substrates by employing 3-D high frequency simulation, respectively. Proper designs of meander type inductors were proposed and confirmed through the high frequency simulations. 5, 7, 9, 11, and 13 turns meander type inductors have been choose to analyze the electrical properties for the microwave passive component applications. The Al top electrodes have 282 nm length, 45 nm width, 100 nm thickness and 15 nm gap. The simulations were carried out from 50 MHz to 30 GHz. Frequency dependent inductances and quality factor were calculated by employing the equivalent circuit model of meander type inductors. The self resonances frequency of meander type inductor were shifted from high frequency to low frequency range as the number of the turn of inductors was increased. From the microwave simulations, the inductances and quality factors of meander type inductors were extracted through the scattering parameter.
#Meander inductor #Simulation #MgO #Al2O3 #Quality factor

목차

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참고문헌 (4)

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H.-W. You / 2008 / Simulation and fabrication of embedded capacitors for organic based RF system on package applications / Integrated Ferroelectrics 97 : 20 ~ google schola K. Kawabe / 1984 / Planar inductor / IEEE Trans. Magn. MAG-20 (5) : 1895 ~ google schola M. Yamaguchi / 1991 / Analysis of the inductance and the stray capacitance of the dry-etched micro inductors / IEEE trans. Magn. 27 (6) : 5274 ~ google schola X.-L. Tang / 2005 / H. Su / Microelectronic Engineering 81 : 212 ~ google schola

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