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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제22권 제8호
발행연도
2009.1
수록면
677 - 681 (5page)

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InxGa1-xN alloys with 20-nm-thickness were deposited onto Mg:GaN/AlN/SiC substrates by MOCVD at 800 ℃. TMGa, TMIn and NH3 were used as the precursor of gallium, indium and nitrogen, respectively. The mole ratio of indium in InxGa1-xN films varied between 0 and 0.2. The energy-band-gaps of the films were obtained from the photoluminescence and cathodoluminescence peaks. The mole ratios of InxGa1-xN films were calculated by applying Vegard's law to XRD results. The energy-band-gap versus indium composition plot for InxGa1-xN alloys were well fit with a bowing parameter of 2.27.

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