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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제15권 제11호
발행연도
2002.1
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In this work, porous silicon (PS) layer is investigated as a sensing material to detect organic vapors such as ethanol (called alcohol), methanol and acetone in low concentrations. To do this, PS sensors were fabricated. They have a membrane structure and comb-type electrodes were used to detect the change of electrical resistance effectively. PS layer on Si substrates was formed by anodization in HF solution of 25%. From fabricated sensors, current-voltage (I-V) curves were measured for gases evaporated from 0.1 to 0.5% organic solution concentrations at 36℃. As the result, all curves showed rectifying behavior due to a diode structure between Si and the PS layer. The conductance of most sensors increased largely at high voltage of 5V, but the built-in potential on the measured I-V curve was lowered inversely by the adsorption effect of the organic vapors with high dipole moment.
#porous silicon #resistance-type #organic vapor #sensor #membrane

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