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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제17권 제2호
발행연도
2004.1
수록면
212 - 216 (5page)

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In this paper, we have fabricated a triode field emitter using carbon nanotubes (CNTs) directly grown by thermal chemical vapor deposition(CVD) method as an electron emission source. Vertically aligned CNTs have been grown in the center of the gate hole, to the size of 1.5 ㎛ in diameter, with help of a sacrificial layer of a type generally used in metal tip process. By the method of tilting the substrate, we made CNTs emitters both with and without SiO2 layer, a sidewall protector, deposited on sidewall of gate. After that we researched the electrical characteristics about two types of emitters. In effect, a sidewall protector can enhance the electrical characteristics by suppressing the problem of short circuits between the gate and the CNTs. The leakage current of an emitter with a sidewall protector is approximately sevenfold lower than that of an emitter without it at a gate voltage of 100 V.
#CNT #Field emitter #Triode #Sidewall protector

목차

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참고문헌 (16)

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/ 1991. / Helical microtubules of graphitic carbon 354 : 56 ~ google schola / 1993. / Single-shell ca -rbon nanotubes of 1-nm diameter 363 : 603 ~ google schola / 1998. / Electron field emission from phase pure nanotube films grown in a methane/hydrogen plasma 73 (15) : 2113 ~ google schola / 1998. / Field emission from carbon nanotubes : a comparative study 98-8 : 783 ~ google schola / 1998. / Field emission from multi-walled carbon nanotubes and its application to electron tubes 67 (1) : 95 ~ google schola

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