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저자정보
이유리 (아주대학교) 이기정 (아주대학교) Nguyen Tuan Hong (아주대학교) 이순일 (아주대학교) 양상식 (아주대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제61권 제7호
발행연도
2012.7
수록면
1,001 - 1,006 (6page)

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This paper presents a carbon nanotube (CNT) triode-structure field emitter as an ion source in a micro time-of-flight mass spectrometer(TOF-MS). In the ion source by field emission, the electrons emitted from cathodes under an electric field accelerated to the anode and ionize gas molecules by impact before arriving the anode. The generated positive ions are to be accelerated to the ion collector. Whereas most of ions are drawn to the cathodes in diode field emitters, a grid in the triode field emitter prevents the ions from being drawn to the cathodes. The triode field emitter is fabricated by micromachining. The cathode is composed of six CNT cylinders. The total size of the fabricated device is 8.0 × 7.3 × 1.9 ㎣. The anode and the grid current of the fabricated CNT field emitter were measured for various anode and grid voltages. When the anode and the grid voltages are 1000 V and 990 V, respectively, the emission current passing through the ionization region is 8.6 ㎂, which is a sufficient emission current for ionization and mass spectrometry.
#Micro mass spectrometer #Electron emitter #Carbon nanotube #Triode #Micromachining

목차

Abstract
1. 서론
2. 테스트탄소나노튜브를 이용한 전자방출원
3. 삼극관 형태의 전자방출원을 가지는 질량분석기의 구조
4. 초소형 질량분석기를 위한 전자방출원의 제작
5. 측정
6. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (20)

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1. [단행본] - Frederick A. White / 1986 / Mass Spectrometry : Applications in science and Engineering / A Willey-Interscience Publication google schola 2. [단행본] - E. Constantin / 1991 / Mass Spectrometry / Ellis Horwood google schola 3. [학술지(정기간행물)] - K. Cheung / 2010 / Chip-Scale Quadrupole Mass Filters for Portable Mass Spectrometry / J. Microelectromech. Syst. 19 (1) : 469 ~ 483 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - J. P. Hauschild / 2007 / Mass Spectra measured by a fully integrated MEMS mass spectrometer / Int. J. Mass spectrom. 264 : 53 ~ 60 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - E. Wapelhorst / 2007 / Complex MEMS: a fully integrated TOF micromass spectrometer / Sens. Actuators A 138 : 22 ~ 27 google schola

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